儀器設(shè)備
設(shè)備參數(shù):
外形尺寸:300×220×600mm
對準(zhǔn)范圍:50mm×50mm
移動臺行程:X方向60mm
Y方向60mm
Z方向50mm
R可旋轉(zhuǎn)360度
設(shè)備包括
1600萬高清彩色工業(yè)相機CCD
1080P高清10.1/15寸顯示屏
15-120倍顯微鏡鏡頭
高精度絲杠二維移動平臺
高精度旋轉(zhuǎn)平臺
可調(diào)蛇形LED光源
中鼎對準(zhǔn)鍵合機具有精確對準(zhǔn),快速鍵合等功能。
設(shè)備采用透明玻璃吸盤,高清彩色工業(yè)相機倒置拍攝芯片,在對準(zhǔn)芯片時能夠做到上下同時觀察,以實現(xiàn)快速對準(zhǔn)芯片。使用高倍可調(diào)倍率鏡頭,根據(jù)需求調(diào)整倍數(shù),在顯示器上進行適當(dāng)?shù)姆糯螅瑢崿F(xiàn)精確對準(zhǔn),快速鍵合。同時儀器還配備了高精度X-Y軸&旋轉(zhuǎn)移動平臺,使得鍵合芯片時能夠更輕松實現(xiàn)芯片精確對準(zhǔn)